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壓電物鏡掃描器的特點和應用

更新時間： 2018-07-27
　　壓電物鏡掃描器是專門為聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，物鏡補償量小，具有超高聚焦穩定性，物鏡掃描器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
　　壓電物鏡掃描器特點：
　　運動范圍100μm
　　定位精度達納米級
　　響應速度可達毫秒級
　　直線運動無偏航
　　壓電物鏡掃描器應用：
　　晶圓切割
　　生物顯微
　　白光干涉
　　原子力顯微鏡
　　差動聚焦檢測系統
　　顯微光學成像
　　壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內置高性能壓電陶瓷，閉環精度高，響應速度快、滿行程線性度達納米量級，可進行激光聚焦，已廣泛應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領域。哈爾濱芯明天科技有限公司專業致力于壓電納米定位系統的研發生產與銷售。十余年的行業經驗、專業的研發團隊、雄厚的研發實力、完善的管理體系、可靠的品質保障為您提供的壓電納米定位技術解決方案！
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