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納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺

納米位移臺即為可產(chǎn)生納米級步進(jìn)位移的位移平臺，精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅(qū)動源，分多種驅(qū)動方式，如直驅(qū)式、放大機構(gòu)式、馬達(dá)式。三者相比，響應(yīng)速度快的為直驅(qū)式結(jié)構(gòu)的壓電納米位移平臺，行程較大的是壓電馬達(dá)式壓電納米位移平臺，可達(dá)毫米、厘米甚至米量級。

直驅(qū)式機構(gòu)-壓電納米位移臺

直驅(qū)式機構(gòu)的壓電納米位移臺具有多種外觀，如柱形、環(huán)形、平臺型等。結(jié)構(gòu)如下圖所示。柱形更適于單軸運動、單螺紋負(fù)載固定、空間受限的應(yīng)用。而平臺型可輸出1至3維的位移，適于單軸或多軸的位移要求的應(yīng)用。

參數(shù)舉例

型號：P66.XY

運動軸：X、Y

位移范圍：34µm/軸

承載能力：7kg

參數(shù)舉例

型號：PSt150/10/60VS15

運動軸：Z

位移范圍：57µm

推力：2300N

放大式機構(gòu)-壓電納米位移臺

放大式機構(gòu)的壓電納米位移臺是通過分析、設(shè)計特殊鉸鏈結(jié)構(gòu)，將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出，放大倍數(shù)自由設(shè)計，一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺式和橢圓結(jié)構(gòu)式。

參數(shù)舉例

型號：P11.XYZ

運動軸：X、Y、Z

位移范圍：110µm/軸

承載能力：600g

橢圓結(jié)構(gòu)

參數(shù)舉例

型號：P06.X40A

運動軸：Z(收縮)

位移范圍：41µm

出力：125N

型號：P06.X500R

運動軸：Z(膨脹)

位移范圍：560µm

出力：100N