新品推薦|XD605.X90一維大負載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環控制器
X向運動、大負載
電容式傳感器
三種位姿、易使用
產品應用
技術參數
| 型號 | XD605.X90C/K |
| 運動自由度 | X |
| 驅動控制 | 1路驅動，1路電容傳感 |
| 標稱行程范圍（0~120V） | 76μm |
| 行程范圍（0~150V） | 95μm |
| 傳感器 | CAP/- |
| 分辨率 | 3nm |
| 閉環線性度 | 0.02%F.S./- |
| 閉環重復定位精度 | 0.005%F.S./- |
| 俯仰 | <5μrad |
| 偏航 | <5μrad |
| 滾動 | <5μrad |
| 空載諧振頻率 | 615Hz |
| 帶載諧振頻率@5kg | 310Hz |
| 閉環階躍時間@5kg | 8ms@20μm |
| 承載能力 | 正立10kg |
| 臥式5kg | |
| 倒置10kg | |
| 靜電容量 | 37μF |
| 材質 | 鋁合金 |
| 重量（含線） | 5.7kg |
配套控制器
