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壓電陶瓷彎曲片在光纖切割、探針掃描、微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)中的應(yīng)用

更新時(shí)間: 2018-08-22

壓電陶瓷彎曲片是可以產(chǎn)生彎曲運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷片,它的構(gòu)成材料是PZT鋯鈦酸鉛,它的運(yùn)動(dòng)利用的是逆壓電效應(yīng),通過施加電壓使其產(chǎn)生微形變,即施加電壓使壓電陶瓷彎曲片產(chǎn)生彎曲運(yùn)動(dòng)。壓電陶瓷彎曲片內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜,是由非常薄的陶瓷層及電極層交替疊層構(gòu)成,層厚約幾十微米,結(jié)構(gòu)如下圖所示。在將陶瓷層及電極層疊層后,將內(nèi)部電極引到壓電陶瓷彎曲片的表面,再進(jìn)行整體共燒,成形后再印刷外部電極、極化,只有極化好的壓電陶瓷彎曲片才具有產(chǎn)生彎曲運(yùn)動(dòng)的特性能力。除了壓電陶瓷彎曲片一端引出的外部電極外,整個(gè)壓電陶瓷彎曲片的外表面都是陶瓷絕緣的。

 

壓電陶瓷彎曲片內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖

壓電陶瓷彎曲片的一端為運(yùn)動(dòng)端,在施加電壓后產(chǎn)生向上及向下的彎曲運(yùn)動(dòng),壓電陶瓷彎曲片的運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)±1.27mm(代表雙向都是1.27mm位移);在壓電陶瓷彎曲片的另一端有外部電極,將引線焊接于此用于電連接,標(biāo)準(zhǔn)引線顏色為紅(+極)、黑(-極)、藍(lán)(可調(diào)電壓端)。

 

 

 

壓電陶瓷彎曲片

芯明天壓電陶瓷彎曲片的驅(qū)動(dòng)電壓為-100V~+100V或0~200V,兩種驅(qū)動(dòng)電壓產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)效果是不同的。當(dāng)使用-100V~+100V驅(qū)動(dòng)電壓控制壓電陶瓷彎曲片時(shí),壓電陶瓷彎曲片可產(chǎn)生向上及向下兩個(gè)方向的彎曲運(yùn)動(dòng),其中引線紅、黑、藍(lán)分別應(yīng)連接+100V、-100V、-100~+100V電壓端,其中藍(lán)色引線上的正負(fù)電壓的大小決定了壓電陶瓷彎曲片的彎曲方向及彎曲幅度大小。當(dāng)使用0~200V驅(qū)動(dòng)電壓控制壓電陶瓷彎曲片時(shí),壓電陶瓷彎曲片可產(chǎn)生單方向的彎曲運(yùn)動(dòng),向下的彎曲運(yùn)動(dòng),其中引線紅、黑、藍(lán)分別應(yīng)連接0~+200V、0V、0V電壓端,其中紅色引線上的電壓大小決定了壓電陶瓷彎曲片的彎曲幅度大小。

電壓的大小與壓電陶瓷彎曲片彎曲的位移幅度基本成線性關(guān)系。

   

-100V~+100V驅(qū)動(dòng)時(shí),雙向彎曲

 

0~200V驅(qū)動(dòng)時(shí),單方向彎曲

壓電陶瓷彎曲片的固定端即是引線端,在固定時(shí),固定的區(qū)域在距離邊緣0.5mm至3.5mm范圍處??墒褂脵C(jī)械夾持或膠粘接的方式,使用機(jī)械夾持時(shí),要采用較軟的機(jī)械夾持材料,如特氟龍,且夾持力不宜過大,約壓電陶瓷彎曲片出力的5倍;在使用膠粘接時(shí),膠線一定要薄,且涂抹區(qū)域不要超出要求的固定區(qū)域。

方形壓電陶瓷彎曲片的出力一般很小,約0.4N~5.5N左右。

壓電陶瓷彎曲片的體積非常小,尺寸小的約21*7.8*0.7mm,尺寸大一些的約50*7.8*1.8mm。

壓電陶瓷彎曲片的靜電容量非常小,約為幾百納法。因此,壓電陶瓷彎曲片工作中充放電的時(shí)間就很短,因此它的運(yùn)動(dòng)速度會(huì)非常快,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)亞毫秒。

芯明天方形壓電陶瓷彎曲片尺寸、位移及出力參數(shù)

CMBP01:尺寸21×7.8×0.7mm,位移±195μm,出力1.2N

CMBP02:尺寸21×7.8×1.3mm,位移±120μm,出力3.7N

CMBP03:尺寸21×7.8×1.8mm,位移±85μm,出力5.5N

CMBP04:尺寸32×7.8×0.7mm,位移±475μm,出力0.75N

CMBP05:尺寸32×7.8×1.3mm,位移±345μm,出力2.25N

CMBP06:尺寸32×7.8×1.8mm,位移±210μm,出力4.3N

CMBP07:尺寸50×7.8×0.7mm,位移±1270μm,出力0.4N

CMBP08:尺寸50×7.8×1.3mm,位移±850μm,出力1.6N

CMBP09:尺寸50×7.8×1.8mm,位移±635μm,出力2.9N

 

 

壓電陶瓷彎曲片的應(yīng)用案例

 

壓電陶瓷彎曲片可用作光纖切割的工具

光纖是由玻璃或塑料纖維制成,主要用于光的傳輸,利用的原理是光的全反射。它的直徑非常小,約頭發(fā)絲的粗細(xì)。光纖切割必須保證不損壞光纖的結(jié)構(gòu),從而不影響光的傳輸。因此,對(duì)切割刀具及切割速度就有非常高的要求,金剛石是光纖的理想切割刀具。壓電陶瓷彎曲片可帶動(dòng)金剛石刀具完成切割動(dòng)作,且切割速度快,可保證切割面的平整。并且,壓電陶瓷彎曲片的體積非常小巧,長(zhǎng)度約20~50mm,寬度為7.8mm,厚度僅0.7~1.3mm,可有效縮小光纖切割設(shè)備的體積。

 

 

 

壓電陶瓷彎曲片可用作焊線機(jī)的引線

焊線機(jī)包括金線機(jī)、鋁線機(jī)、超聲波焊線機(jī),它是利用鍵合技術(shù),將引線的兩端分別與芯片及管腳鍵合,形成電氣連接。焊線機(jī)主要用于LED、激光管、中小型功率三極管、集成電路及一些特殊半導(dǎo)體器件的引線焊接。

壓電陶瓷彎曲片可用作焊線機(jī)中的引線線夾,配合高速精密工作臺(tái)和鍵合頭運(yùn)動(dòng),夾持引線并使其在工作空間中完成復(fù)雜高速運(yùn)動(dòng),以形成能夠滿足不同封裝所需的線弧,終實(shí)現(xiàn)電互連。

壓電陶瓷彎曲片的彎曲與否,決定了引線線夾的開合,且壓電陶瓷彎曲片開合的速度可達(dá)亞毫秒級(jí),可滿足引線線夾的快速開合,另外,壓電陶瓷彎曲片的體積非常緊湊,非常適合焊線機(jī)上緊湊的空間要求。

 

 

壓電陶瓷彎曲片可用作探針掃描

可將探針固定于壓電陶瓷彎曲片的運(yùn)動(dòng)端,壓電陶瓷彎曲片的彎曲可控制探針針尖接近待測(cè)樣品表面。壓電陶瓷彎曲片的彎曲幅度與所施加的電壓基本成線性關(guān)系,可通過電壓控制壓電陶瓷彎曲片的彎曲位移,控制精度可達(dá)納米量級(jí),從而使得控制壓電陶瓷彎曲片帶載的探針的位置,非常適于操作空間非常受限的應(yīng)用。壓電陶瓷彎曲片控制探針掃描的方法應(yīng)用非常廣泛,如電化學(xué)刻蝕加工、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡等。

 

 

 

壓電陶瓷彎曲片可用作驅(qū)動(dòng)微型壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)

 

壓電陶瓷彎曲片可產(chǎn)生彎曲運(yùn)動(dòng),經(jīng)過特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使壓電陶瓷彎曲片的彎曲運(yùn)動(dòng)傳遞至平臺(tái),并使得平臺(tái)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。通過驅(qū)動(dòng)電壓的大小同時(shí)控制4片壓電陶瓷彎曲片的彎曲的幅度,壓電陶瓷彎曲片的運(yùn)動(dòng)端與轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的支桿鉸鏈相連,壓電陶瓷彎曲片的彎曲運(yùn)動(dòng)傳遞至支桿鉸鏈,從而控制微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)動(dòng)角度約幾度,轉(zhuǎn)動(dòng)的精度可達(dá)納弧度級(jí)。

 

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