宏微復合機構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機構(gòu)完成大范圍精密定位需求。   通過測微頭與壓電微調(diào)機構(gòu)相結(jié)合的方式實現(xiàn)宏微復合機構(gòu)，宏微復合機構(gòu)可以與宏動平臺配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺 技術(shù)參數(shù) 型號 | P84.X100S | P84.X100K | 單位 | 運動自由度 | X | X | | 行程范圍 | 13mm+110µm | 13mm+110µm | 粗調(diào)+精調(diào) | 平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | 重量 | 400 | 400 | g±5% | 殼體材料 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 外形尺寸（長×寬×高） | 140×90×23 | 140×90×23 | mm×mm×mm | 手動調(diào)節(jié)部分-千分尺 | 粗調(diào)行程范圍 | 13 | 13 | mm | 粗調(diào)分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | 導軌 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌 | | 驅(qū)動方式 | 螺紋副（分厘卡） | 螺紋副（分厘卡） | | 千分尺靈敏度 | <2 | <2 | µm | 臺面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | 千分尺讀數(shù) | 10 | 10 | （微米/格） | 千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | 壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動 | 精調(diào)行程范圍 | 0~120 V，Nominal | 80 | 80 | µm±20% | -20~150 V，Max | 110 | 110 | µm±20% | 傳感器類型 | SGS | - | | 步進/分辨率 | 7 | 2.5 | nm, typ. | 閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動) | 0.1 | - | %F.S. | 重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | 運動方向推力 | 16 | 16 | N | 剛度 | 1 | 1 | N/µm±20% | 承載能力（Z向）* | 500 | 500 | g | 工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | 傳感/電壓連接器 | LEMO | LEMO | |
*若將此宏微復合臺作為Z向移動平臺使用，它的承載能力將減小，約200g。 注：<span microsoft="" yahei";"="" font-size:12px;"="" style="margin: 0px; padding: 0px;">以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設(shè)備有關(guān)。參數(shù)更新不予通知，具體請與銷售工程師聯(lián)系確認。 |
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